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532nm 绿光激光器应用于硅晶圆片微孔、盲孔加工

Release time：2021/09/15

532nm 绿光激光器应用于硅晶圆片微孔、盲孔加工

晶圆便是硅元素加以纯化（99.999%），接着是将这些纯硅制成长硅晶棒，成为制造积体电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆，如此一来就成为了硅晶圆片。

瑞丰恒生产的532nm 绿光激光器能够对硅晶圆片进行盲孔加工，能够在规定的位置清晰地打下微孔，在最大程度上保持圆片的使用效率和清晰程度，并且其微孔排列整齐，不会产生歪歪斜斜的难以使用的效果，是加快生产效率和质量的最佳途径。

昨天，周经理（其来自于一家集成电路企业）刚下单购买了三台Expert Ⅱ532nm固体绿光激光器就是用于对硅晶圆片进行盲孔加工，定位打微孔。

“±0.02mm高精度”、“高稳定性”、“高性价比”是瑞丰恒绿光激光器核心优势 

Expert Ⅱ532绿光激光器属于冷光源，功率热影响区小，光束质量高，标记速度飞快，另外，超高的峰值功率高和极少的热效应特点，非常适合晶圆微切割和钻孔。

精工13年，瑞丰恒专门研发、生产的Expert Ⅱ 532系列水冷式绿光半导体泵浦脉冲固体激光器（功率范围5W至10W）重复频率覆盖范围宽，单脉冲至200kHz；在所有频率范围内都严格保证拥有优越的光束质量（M²<1.3)和完美光斑特性（光斑椭圆度>90 %），非常适合超精细打标；另外，绿光激光器的脉冲宽度<35ns@30k，加工时热影响区域很小，不会出现烧焦、变形的情况； 而独特的调Q控制技术，适合各种激光应用控制需求；采用全数字智能电源控制技术，操作简单、方便远程监控。

 瑞丰恒绿光激光器的泵浦等核心部件一直坚持采用进口品牌，使用寿命均超过2万小时以上 ，而其他零部分也坚持采用国内一线品牌，从物料采购生态链的源头上，确保每个零部件品质。

更值得一提的是，国内外教授级团队，自主研发绿光激光器专用电源控制系统，能够及时更新电源控制系统功能模块、并且根据激光器需求，改进功能模块。

13年来，瑞丰恒坚持“电源+激光器+冷却设备”的整套销售模式，从根本上避免激光器功率衰减，光束质量不均匀等故障问题。

 

关键词： 紫外绿光激光器

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